项目描述：
技术目标：实现高精度表面形貌测量机的样机一台，申请相关发明专利1项
技术内容：高精度表面形貌测量机设备的开发和实现，完成传感器的集成、旋转平台的路径规划控制以及三维成像原理等研究，最终实现高精度表面形貌测量能力。
技术方法和路线： 首先，建立复光束角度自适应光学系统模型，包括研究光斑区域和背景信号的分割，在完成分割的基础上，研究探测窗口与光斑的匹配；其次，结合光斑位置阈值自适应算法和光斑追踪法，分别优化该光学系统的灵敏度和动态检测范围；最后，采用圆周扫描式全局空间联动信号采集路径，验证该光学系统模型及大口径非球面形貌检测方法的有效性。